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本頁全選
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以溫度可視化方法探討化學機械拋光製程中晶圓溫度分布
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機械工程系
/109/ 碩士
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研究生：
葉子毓
指導教授：
田維欣
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在現今半導體晶片製程中，為達到更小的元件關鍵尺寸(Critical Dimension, CD)，化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)逐漸成…
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點閱：319
下載：1
- 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
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雙波長自校式溫度感測循跡微粒之性能驗證及資料處理
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機械工程系
/108/ 碩士
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研究生：
繆聞
指導教授：
田維欣
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本文為雙波長自校正溫度感測微粒的放光特性之研究，並開發一個針對雙波長自校正溫度感測微粒的資料後處理程序。以塗覆方式製成不同重量比的溫度感測微粒，研究微粒之光強度比與重量比的關係，並探討光強度比與溫度…
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點閱：291
下載：2
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雙波長自校式溫度感測循跡微粒之研發
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機械工程系
/107/ 碩士
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研究生：
林頌揚
指導教授：
田維欣
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本研究作為溫度感測微粒技術之改良與延伸，改善單色溫度感應循跡微粒之量測誤差，以應用於非侵入式地測量流體流動時之溫度分布。利用攪拌製程將兩種不同溫度敏感性之量子點CdZnSeS/ZnS、CsPbBr3…
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點閱：258
下載：2
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以流場與溫度場可視化方法探討化學機械平坦化製程中晶圓溫度分布與製程表現之關係
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機械工程系
/111/ 碩士
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研究生：
許翔閎
指導教授：
田維欣
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本研究建構一套化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization, CMP)之流場可視化(Flow Visualization, FV)與溫度場可視化(Tempera…
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點閱：287
下載：3
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塗覆量子點之溫度感測流場循跡微粒之研發
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機械工程系
/106/ 碩士
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研究生：
陳建志
指導教授：
田維欣
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作為溫度感測塗料(Temperature Sensitive Paint, TSP)和流場可視化（Flow Visualization, FV）技術之組合與延伸，本研究提出了一種非侵入式溫度場和速度…
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點閱：329
下載：10
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不同溫度感測機制應用於地板送風系統的影響
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機械工程系
/102/ 碩士
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研究生：
劉人豪
指導教授：
林怡均
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本論文主要探討不同溫度感測機制, 當感測器位於不同位置時, 應用於地板
送風(Under-Floor Air Distribution, UFAD) 系統, 調控室內環境之表
現。與傳統天花板送風(…
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點閱：237
下載：4
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實驗測量研究地板送風系統應用於台灣建築科技中心大樓之室內環境
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機械工程系
/101/ 碩士
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研究生：
蔡廷亞
指導教授：
林怡均
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本研究藉由實地量測台灣科技大學內的台灣建築科技中心 (T. B. T. C.) 大樓六樓的室內熱環境，針對此樓層內地板送風系統(Underfloor Air Distribution System)…
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點閱：391
下載：1
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溫度感測循跡微粒應用於微尺度流動之溫度場資料後處理
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機械工程系
/109/ 碩士
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研究生：
吳尚諭
指導教授：
田維欣
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溫度感測循跡微粒應用於溫度場與速度場可視化時，較高的螢光強度能增加訊號雜訊比以提升量測準確性，而量子點作為新興的溫度感測螢光材料，相較於傳統有機的溫度感測材料具有較高的螢光強度，因此本研究探討溫度感…
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點閱：265
下載：6
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應用於工業廠房之改良型通風系統設計與實驗量測研究
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機械工程系
/111/ 碩士
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研究生：
陳彥龍
指導教授：
林怡均
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本研究根據實際工業廠房的幾何條件及內部結構，於工業廠房區域內設置對應之改良型通風系統，預期透過改良型通風系統，將廠房內部環境維持在低於 30°C，此溫度為內部實驗設備維持正常運作之條件，使用此機制取…
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點閱：295
下載：5
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線上觀測溫度梯度對模造玻璃成形機制之探討
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機械工程系
/98/ 碩士
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研究生：
吳柏慶
指導教授：
鄭正元
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非球面玻璃鏡片是數位相機與照相手機的關鍵零組件，在需求量與畫素逐年升高的情況下，製作非球面玻璃鏡片的傳統方法已經無法提供足夠的產量，而模造玻璃技術具有高解析度、穩定性佳、量產性高等技術上的優勢，具有…
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點閱：204
下載：2
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